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化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾
半導(dǎo)體設(shè)備制造
用于高真空應(yīng)用的前級(jí)泵
功能和優(yōu)勢(shì)
先進(jìn)的油壓回路可提供有效的潤(rùn)滑（即使是在高氣體負(fù)荷下）
當(dāng)泵關(guān)閉時(shí)，彈簧式分配閥可提供油和空氣反吸保護(hù)
氣鎮(zhèn)控制可幫助處理高水蒸汽負(fù)荷
傳動(dòng)軸桿上安裝有工業(yè)級(jí)滾柱軸承，可靠性極高，使用壽命和無(wú)故障工作時(shí)間也更長(zhǎng)
通過(guò)全高度油品觀察窗可方便地檢查油位和相關(guān)情況
較大型號(hào)上安裝有濾油機(jī)狀態(tài)指示器，方便您更換濾油機(jī)
中央進(jìn)氣口方便您在需要時(shí)安裝機(jī)械增壓泵
我們提供便捷的維修套件，并為國(guó)際客戶提供支持服務(wù)，維護(hù)簡(jiǎn)單
提供了各種附件，可滿足您的應(yīng)用需求
泵和附件可以作為單個(gè)部件提供，也可以作為完整系統(tǒng)化、經(jīng)過(guò)出廠測(cè)試的組合提供。
技術(shù)數(shù)據(jù)
E2M-40 | E2M-80 | E2M-175 | E2M-275 | |
排量 | ||||
50 Hz | 42.5 m3h-1 / 25 ft3min-1 | 80 m3h-1 / 47.1 ft3min-1 | 178 m3h-1 / 105 ft3min-1 | 292 m3h-1 / 172 ft3min-1 |
60 Hz | 50.5 m3h-1 / 29.7 ft3min-1 | 96 m3h-1 / 56.5 ft3min-1 | 214 m3h-1 / 126 ft3min-1 | 350 m3h-1 / 206 ft3min-1 |
速度 (Pneurop) | ||||
50 Hz | 37 m3h-1 / 21.8 ft3min-1 | 74 m3h-1 / 43.6 ft3min-1 | 160 m3h-1 / 94 ft3min-1 | 255 m3h-1 / 150 ft3min-1 |
60 Hz | 44 m3h-1 / 25.9 ft3min-1 | 90 m3h-1 / 53 ft3min-1 | 196 m3h-1 / 115 ft3min-1 | 306 m3h-1 / 180 ft3min-1 |
級(jí)數(shù) | 2 | 2 | 2 | 2 |
極限真空（總壓力） | ||||
不帶氣鎮(zhèn) | 1 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr | 1.0 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr | 1 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr | 1.0 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr |
帶氣鎮(zhèn) | 7 x 10-3 mbar / 5.4 x 10-3 Torr | 7.0 x 10-3 mbar / 5.4 x 10-3 Torr | 7 x 10-3 mbar / 5.4 x 10-3 Torr | 5.0 x 10-3 mbar / 3.8 x 10-3 Torr |
極限（帶 Fomblin?） | ||||
不帶氣鎮(zhèn) | 1 x 10-2 mbar | 1 x 10-2 mbar | ||
入口連接 | ISO40 | ISO40 | 帶密封件的 ISO63 盲法蘭 | 帶密封件的 ISO63 盲法蘭 |
出口連接 | 適用于 NW25 的 25 mm 法蘭 | 適用于 NW25 的 25 mm 法蘭 | 中心分接的 ISO40 法蘭 | 中心分接的 ISO40 法蘭 |
最大出口壓力 | 0.5 bar 表壓 | 0.5 bar 表壓 | 0.5 bar 表壓 | 0.5 bar 表壓 |
水蒸汽的最大進(jìn)氣口壓力 | 7 mbar/5.3 Torr | 0.3 kg h-1 / 0.7 lb h-1 | 20 mbar/15 Torr | 12 mbar / 9 Torr |
最大水蒸汽抽速 | 0.2 kg h-1 / 0.4 lb h-1 | 0.3 kg h-1 / 0.7 lb h-1 | 2.3 kg h-1 / 5.1 lb h-1 | |
重量 | 72 kg / 159 lb | 105 kg / 231 lb | 200 kg/441 lb | 225 kg / 495 lb |
電機(jī)保護(hù)額定值 | IP44 或 IP54 | IP44 或 IP54 | IP44 | IP44 |
電機(jī)功率 | ||||
50 Hz | 1.1 kW / 1.5 hp | 2.2 kW / 3 hp | 5.5 kW/7.5 hp | 7.5 kW / 10 hp |
60 Hz | 1.5 kW / 2 hp | 3 kW / 4 hp | 6.5 kW / 8.5 hp | 8.5 kW / 11 hp |
標(biāo)準(zhǔn)油量 | ||||
最大 | 3.5 升 / 3.2 qt | 6.3 l / 6.7 qt | 25 升 / 26 qt | 28 升 / 29.5 qt |
最小 | 1.32 升 / 1.6 qt | 4 l / 4.2 qt | 16 升 / 17 qt | 19 升 / 20 qt |
PFPE 油量 | ||||
最大 | 3.5 升 / 3.2 qt | 4.01 l / 4.2 qt | 18 升 / 19 qt | |
最小 | 1.32 升 / 1.6 qt | 2.19 l / 2.3 qt | 6.5 升 / 6.9 qt | |
推薦用油 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 |
噪音級(jí)別 | 65 dB(A) | 70 dB(A) | 75 dB(A) | 75 dB(A) |
水冷卻要求 | 1.3 lmin-1 | 2 lmin-1 |
應(yīng)用
真空冶金加工
薄膜覆層技術(shù)
制藥冷凍干燥
冷凍和空調(diào)系統(tǒng)抽空、干燥和回填
變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠
燈具制造
低溫容器抽空
化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾
半導(dǎo)體設(shè)備制造
用于高真空應(yīng)用的前級(jí)泵
功能和優(yōu)勢(shì)
先進(jìn)的油壓回路可提供有效的潤(rùn)滑（即使是在高氣體負(fù)荷下）
當(dāng)泵關(guān)閉時(shí)，彈簧式分配閥可提供油和空氣反吸保護(hù)
氣鎮(zhèn)控制可幫助處理高水蒸汽負(fù)荷
傳動(dòng)軸桿上安裝有工業(yè)級(jí)滾柱軸承，可靠性極高，使用壽命和無(wú)故障工作時(shí)間也更長(zhǎng)
通過(guò)全高度油品觀察窗可方便地檢查油位和相關(guān)情況
較大型號(hào)上安裝有濾油機(jī)狀態(tài)指示器，方便您更換濾油機(jī)
中央進(jìn)氣口方便您在需要時(shí)安裝機(jī)械增壓泵
我們提供便捷的維修套件，并為國(guó)際客戶提供支持服務(wù)，維護(hù)簡(jiǎn)單
提供了各種附件，可滿足您的應(yīng)用需求
泵和附件可以作為單個(gè)部件提供，也可以作為完整系統(tǒng)化、經(jīng)過(guò)出廠測(cè)試的組合提供。
技術(shù)數(shù)據(jù)
E2M-40 | E2M-80 | E2M-175 | E2M-275 | |
排量 | ||||
50 Hz | 42.5 m3h-1 / 25 ft3min-1 | 80 m3h-1 / 47.1 ft3min-1 | 178 m3h-1 / 105 ft3min-1 | 292 m3h-1 / 172 ft3min-1 |
60 Hz | 50.5 m3h-1 / 29.7 ft3min-1 | 96 m3h-1 / 56.5 ft3min-1 | 214 m3h-1 / 126 ft3min-1 | 350 m3h-1 / 206 ft3min-1 |
速度 (Pneurop) | ||||
50 Hz | 37 m3h-1 / 21.8 ft3min-1 | 74 m3h-1 / 43.6 ft3min-1 | 160 m3h-1 / 94 ft3min-1 | 255 m3h-1 / 150 ft3min-1 |
60 Hz | 44 m3h-1 / 25.9 ft3min-1 | 90 m3h-1 / 53 ft3min-1 | 196 m3h-1 / 115 ft3min-1 | 306 m3h-1 / 180 ft3min-1 |
級(jí)數(shù) | 2 | 2 | 2 | 2 |
極限真空（總壓力） | ||||
不帶氣鎮(zhèn) | 1 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr | 1.0 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr | 1 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr | 1.0 x 10-3 mbar / 7.7 x 10-4 Torr |
帶氣鎮(zhèn) | 7 x 10-3 mbar / 5.4 x 10-3 Torr | 7.0 x 10-3 mbar / 5.4 x 10-3 Torr | 7 x 10-3 mbar / 5.4 x 10-3 Torr | 5.0 x 10-3 mbar / 3.8 x 10-3 Torr |
極限（帶 Fomblin?） | ||||
不帶氣鎮(zhèn) | 1 x 10-2 mbar | 1 x 10-2 mbar | ||
入口連接 | ISO40 | ISO40 | 帶密封件的 ISO63 盲法蘭 | 帶密封件的 ISO63 盲法蘭 |
出口連接 | 適用于 NW25 的 25 mm 法蘭 | 適用于 NW25 的 25 mm 法蘭 | 中心分接的 ISO40 法蘭 | 中心分接的 ISO40 法蘭 |
最大出口壓力 | 0.5 bar 表壓 | 0.5 bar 表壓 | 0.5 bar 表壓 | 0.5 bar 表壓 |
水蒸汽的最大進(jìn)氣口壓力 | 7 mbar/5.3 Torr | 0.3 kg h-1 / 0.7 lb h-1 | 20 mbar/15 Torr | 12 mbar / 9 Torr |
最大水蒸汽抽速 | 0.2 kg h-1 / 0.4 lb h-1 | 0.3 kg h-1 / 0.7 lb h-1 | 2.3 kg h-1 / 5.1 lb h-1 | |
重量 | 72 kg / 159 lb | 105 kg / 231 lb | 200 kg/441 lb | 225 kg / 495 lb |
電機(jī)保護(hù)額定值 | IP44 或 IP54 | IP44 或 IP54 | IP44 | IP44 |
電機(jī)功率 | ||||
50 Hz | 1.1 kW / 1.5 hp | 2.2 kW / 3 hp | 5.5 kW/7.5 hp | 7.5 kW / 10 hp |
60 Hz | 1.5 kW / 2 hp | 3 kW / 4 hp | 6.5 kW / 8.5 hp | 8.5 kW / 11 hp |
標(biāo)準(zhǔn)油量 | ||||
最大 | 3.5 升 / 3.2 qt | 6.3 l / 6.7 qt | 25 升 / 26 qt | 28 升 / 29.5 qt |
最小 | 1.32 升 / 1.6 qt | 4 l / 4.2 qt | 16 升 / 17 qt | 19 升 / 20 qt |
PFPE 油量 | ||||
最大 | 3.5 升 / 3.2 qt | 4.01 l / 4.2 qt | 18 升 / 19 qt | |
最小 | 1.32 升 / 1.6 qt | 2.19 l / 2.3 qt | 6.5 升 / 6.9 qt | |
推薦用油 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 |
噪音級(jí)別 | 65 dB(A) | 70 dB(A) | 75 dB(A) | 75 dB(A) |
水冷卻要求 | 1.3 lmin-1 | 2 lmin-1 |
